Alle Thyrobox Stromversorgungen von AEG Power Solutions werden weltweit, bei Installation und Instandhaltung, von einem Team trainierter Serviceingenieure unterstützt, die Vor-Ort-Erfahrung mit Reaktor-Stromversorgungen zur Herstellung von Polysilizium haben.
Polysilicon Systems
Stromversorgungen für die Herstellung von Polysilizium
Weltweit erfolgreich im Einsatz, sind die Thyrobox Stromversorgungen ein Synonym für höchste Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit des Herstellungsprozesses.
Als weltweiter Marktführer für Stromversorgungen zur Herstellung von Polysilizium, liefert AEG Power Solutions kundenspezifische Lösungen, die speziell auf den Herstellungsprozess von Polysilzium zugeschnitten sind. AEG PS Thyrobox Stromversorgungen sind dank hochentwickelter AC Technologie im Vergleich zu anderen Technologien äußerst energieeffizient und zuverlässig.
Typische Thyrobox - Anwendungsbereiche sind in der Polysilizium-Herstellung die Reaktor-Stromversorgungen für das direkte Beheizen der Siliziumstäbe im D-Reaktor (Abscheidereaktor) und das direkte Beheizen der Graphit-Elemente im H-Reaktor (STC TCS Konverter).
Die Abb. zeigt verschiedene gängige Reaktordesigns für den D-Reaktor.
Die komplexen Anforderungen von D-Reaktor und H-Reaktor, die an die Stromversorgung gestellt werden, werden durch die Thyrobox erfüllt. Die nachfolgende Abb. beschreibt die aktuellen „ Standard-Stromversorgungen“.
Thyrobox | ||
|---|---|---|
Thyrobox M | D-Reaktor | Modulare Zünd-, Vorheiz- und Prozess-Stromversorgung für den CVD-Prozess in Abscheide-Reaktoren mit z.B. 12, 18, 24 oder 27 Stabpaaren |
Thyrobox MV-I | D-Reaktor | Stromversorgung für die Zündung der Silizium-Stabpaare mit Mittelspannung, als Add-on für bereits bestehende Thyrobox VSC Stromversorgungen |
Thyrobox VSC-C | H-Reaktor | Stromversorgung für den H-Reaktor in mehrstufiger VSC-Schaltung |
Thyrobox PI - Das Highlight unter den Stromversorgungen
Beständige Weiterentwicklungen, auf der Basis langjähriger Erfahrungen und erprobter Komponenten unserer Thyrobox, bieten dem Anwender die Möglichkeit für eine innovative und wettbewerbsfähige Gesamtlösung zur Polysilizium-Produktion.
Der jüngste Meilenstein in der Entwicklung der Thyrobox Stromversorgungen ist die Thyrobox PI.
Thyrobox | ||
|---|---|---|
Thyrobox PI | D-Reactor | Stromversorgung zur echten Optimierung des Abscheideprozesses (PI = process improvement) |
Add-on Stromversorgung zur Thyrobox M oder Thyrobox VSC, für die Verbesserung des Abscheideprozesses bezüglich Qualität und Quantitat der Abscheidung. | ||
Möglicher Einsatz in allen gängigen Reaktoren, z.B. mit 12, 18, 24 oder 27 Stabpaaren. | ||
Thyrobox PI steht für Process Improvement, und erklärt die erreichbaren Vorteile, die mit dieser Stromversorgung möglich sind:
- Reduzierung von Problemen im Abscheideprozess- Vergrößerung der Stabdurchmesser
Das ergibt zusammen ein über das Jahr größeres Produktionsvolumen der Polysilizium Fabrik. Weitere Informationen zum Thema Thyrobox PI sind in den entsprechenden Flyern zu finden.
Thyrobox für D-Reaktoren
Thyrobox M für 24 Stabpaare
Bx H x T: 4400 x 2200 x 1600[mm]
Die Grafik zeigt eine Thyrobox M für einen CVD Reaktor mit 24 Stabpaaren. Im Funktionsumfang sind die Zündung des Reaktors (alle Stäbe) mit Mittelspannung, sowie die Prozess-Stromversorgung enthalten.
Weltweiter Service
Nähere Informationen
Mehr Informationen über AEG Power Solutions und Thyrobox Stromversorgungen für die Herstellung von Polysilizium erhalten Sie unter: polysilicon@aegps.com
Share this article: 
