Stromversorgungssysteme für die Polysilizium-Produktion | AEG Power Solutions

Thyrobox PI für Polysilizium-Systeme

power supply, polysilicon production

Stromversorgungen für die Herstellung von Polysilizium

Weltweit erfolgreich im Einsatz, sind die Thyrobox Stromversorgungen ein Synonym für höchste Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit des Herstellungsprozesses.

Als weltweiter Marktführer für Stromversorgungen zur Herstellung von Polysilizium, liefert AEG Power Solutions kundenspezifische Lösungen, die speziell auf den Herstellungsprozess von Polysilzium zugeschnitten sind. AEG PS Thyrobox Stromversorgungen sind dank hochentwickelter AC Technologie im Vergleich zu anderen Technologien äußerst energieeffizient und zuverlässig.

Typische Thyrobox - Anwendungsbereiche sind in der Polysilizium-Herstellung die Reaktor-Stromversorgungen für das direkte Beheizen der Siliziumstäbe im D-Reaktor (Abscheidereaktor) und das direkte Beheizen der Graphit-Elemente im H-Reaktor (STC TCS Konverter).

Thyrobox PI, Polysilizium-Systeme, herstellung von Polysilizium

Die Abb. zeigt verschiedene gängige Reaktordesigns für den D-Reaktor.

Die komplexen Anforderungen von D-Reaktor und H-Reaktor, die an die Stromversorgung gestellt werden, werden durch die Thyrobox erfüllt. Die nachfolgende Abb. beschreibt die aktuellen „ Standard-Stromversorgungen“.

Thyrobox
Zuverlässige Qualitätsstromversorgungen fr die Polysilizium-Herstellung

Thyrobox M

 D-Reaktor

Modulare Zünd-, Vorheiz- und Prozess-Stromversorgung für den CVD-Prozess in Abscheide-Reaktoren mit z.B. 12, 18, 24 oder 27 Stabpaaren

Thyrobox MV-I

D-Reaktor

Stromversorgung für die Zündung der Silizium-Stabpaare mit Mittelspannung, als Add-on für bereits bestehende Thyrobox VSC Stromversorgungen

Thyrobox VSC-C

H-Reaktor

Stromversorgung für den H-Reaktor in mehrstufiger VSC-Schaltung

Thyrobox PI, Polysilizium-Systeme, herstellung von Polysilizium

Thyrobox für D-Reaktoren

Thyrobox M für 24 Stabpaare

  Bx H x T: 4400 x 2200 x 1600[mm]

Die Grafik zeigt eine Thyrobox M für einen CVD Reaktor mit 24 Stabpaaren. Im Funktionsumfang sind die Zündung des Reaktors (alle Stäbe) mit Mittelspannung, sowie die Prozess-Stromversorgung enthalten.

Weltweiter Service

Alle Thyrobox Stromversorgungen von AEG Power Solutions werden weltweit, bei Installation und Instandhaltung, von einem Team trainierter Serviceingenieure unterstützt, die Vor-Ort-Erfahrung mit Reaktor-Stromversorgungen zur Herstellung von Polysilizium haben.

Nähere Informationen

Mehr Informationen über AEG Power Solutions und Thyrobox Stromversorgungen für die Herstellung von Polysilizium erhalten Sie unter: polysilicon@aegps.com

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