Thyrobox PI für Polysilizium-Systeme

power supply, polysilicon production

Stromversorgungen für die Herstellung von Polysilizium

Weltweit erfolgreich im Einsatz, sind die Thyrobox Stromversorgungen ein Synonym für höchste Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit des Herstellungsprozesses.

Als weltweiter Marktführer für Stromversorgungen zur Herstellung von Polysilizium, liefert AEG Power Solutions kundenspezifische Lösungen, die speziell auf den Herstellungsprozess von Polysilzium zugeschnitten sind. AEG PS Thyrobox Stromversorgungen sind dank hochentwickelter AC Technologie im Vergleich zu anderen Technologien äußerst energieeffizient und zuverlässig.

Typische Thyrobox - Anwendungsbereiche sind in der Polysilizium-Herstellung die Reaktor-Stromversorgungen für das direkte Beheizen der Siliziumstäbe im D-Reaktor (Abscheidereaktor) und das direkte Beheizen der Graphit-Elemente im H-Reaktor (STC TCS Konverter).

Thyrobox PI, Polysilizium-Systeme, herstellung von Polysilizium

Die Abb. zeigt verschiedene gängige Reaktordesigns für den D-Reaktor.

Die komplexen Anforderungen von D-Reaktor und H-Reaktor, die an die Stromversorgung gestellt werden, werden durch die Thyrobox erfüllt. Die nachfolgende Abb. beschreibt die aktuellen „ Standard-Stromversorgungen“.

Thyrobox
Zuverlässige Qualitätsstromversorgungen fr die Polysilizium-Herstellung

Thyrobox M

 D-Reaktor

Modulare Zünd-, Vorheiz- und Prozess-Stromversorgung für den CVD-Prozess in Abscheide-Reaktoren mit z.B. 12, 18, 24 oder 27 Stabpaaren

Thyrobox MV-I

D-Reaktor

Stromversorgung für die Zündung der Silizium-Stabpaare mit Mittelspannung, als Add-on für bereits bestehende Thyrobox VSC Stromversorgungen

Thyrobox VSC-C

H-Reaktor

Stromversorgung für den H-Reaktor in mehrstufiger VSC-Schaltung

Thyrobox PI

Thyrobox PI ist mit seiner patentierten Technik ein entscheidender Baustein zu gesteigerter Wettbewerbsfähigkeit:

  • Steigerung der Abscheidetemperatur
  • Steigerung des max. möglichen Durchmessers der Stäbe
  • Schutz der Stabkerne vor Schmelze
  • Verringerung des mechanischen Stress in den Stäben
  • Vermeidung von Stabbruch und Herunterfahren des Systems
  • Reduziert die Problematik von Hotspots


Die Minimierung von bekannten technischen Problemen innerhalb des Reaktors war die Grundlage zur Entwicklung eines schnelleren Abscheideprozesses aber mit geringeren Problemen. Die modular aufgebaute Thyrobox PI kann überall dort verwendet werden, wo Abscheidereaktoren bereits mit Thyrobox VSC oder Thyrobox M ausgestattet sind.

Thyrobox PI - Das Highlight unter den Stromversorgungen

Beständige Weiterentwicklungen, auf der Basis langjähriger Erfahrungen und erprobter Komponenten unserer Thyrobox, bieten dem Anwender die Möglichkeit für eine innovative und wettbewerbsfähige Gesamtlösung zur Polysilizium-Produktion.

Der jüngste Meilenstein in der Entwicklung der Thyrobox Stromversorgungen ist die Thyrobox PI.

Thyrobox
Prozessoptimierung für die Maximierung des Produktionsvolumens

Thyrobox PI

D-Reactor

Stromversorgung zur echten Optimierung des Abscheideprozesses (PI = process improvement)

Add-on Stromversorgung zur Thyrobox M oder Thyrobox VSC, für die Verbesserung des Abscheideprozesses bezüglich Qualität und Quantitat der Abscheidung.

Möglicher Einsatz in allen gängigen Reaktoren, z.B. mit 12, 18, 24 oder 27 Stabpaaren.

Thyrobox PI steht für Process Improvement, und erklärt die erreichbaren Vorteile, die mit dieser Stromversorgung möglich sind:

- Reduzierung von Problemen im Abscheideprozess- Vergrößerung der Stabdurchmesser

Das ergibt zusammen ein über das Jahr größeres Produktionsvolumen der Polysilizium Fabrik. Weitere Informationen zum Thema  Thyrobox PI  sind in den entsprechenden Flyern zu finden.

Thyrobox PI, Polysilizium-Systeme, herstellung von Polysilizium

Thyrobox für D-Reaktoren

Thyrobox M für 24 Stabpaare

  Bx H x T: 4400 x 2200 x 1600[mm]

Die Grafik zeigt eine Thyrobox M für einen CVD Reaktor mit 24 Stabpaaren. Im Funktionsumfang sind die Zündung des Reaktors (alle Stäbe) mit Mittelspannung, sowie die Prozess-Stromversorgung enthalten.

Weltweiter Service

Alle Thyrobox Stromversorgungen von AEG Power Solutions werden weltweit, bei Installation und Instandhaltung, von einem Team trainierter Serviceingenieure unterstützt, die Vor-Ort-Erfahrung mit Reaktor-Stromversorgungen zur Herstellung von Polysilizium haben.

Nähere Informationen

Mehr Informationen über AEG Power Solutions und Thyrobox Stromversorgungen für die Herstellung von Polysilizium erhalten Sie unter: polysilicon@aegps.com

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