CVD-REAKTOREN IN DER POLYSILIZIUM-HERSTELLUNG

GT Advanced Technologies, USA

Ort

USA
 

Anwendung

CVD-Reaktoren für die Polysiliziumherstellung

  • Thyrobox™ M

Nach der bisherigen hervorragenden Zusammenarbeit hat sich GT Advanced Technologies bei der Optimierung seiner Polsiliziumherstellung für AEG PS entschieden. Die integrierten Thyrobox™ M Stromversorgungssysteme sind Bestandteil von GT Advanced Technologies’ schlüsselfertigen CVD-Reaktoren der SDR™-Reihe für die Polysiliziumherstellung.

Die Stromversorgungssysteme von AEG PS unterstützen GT Advanced Technologies dabei, den höchsten Qualitätsstandard zu erreichen, um hocheffiziente und zuverlässige Geräte für die Herstellung von ultrareinem Polysilizium liefern zu können.